频道导航 - 财经 - 股票 - 行情 - 基金 - 外汇 - 期货 - 港股 - 保险 - 银行 - 理财 - 债券 - 黄金 - 汽车 - 商城 - 股指期货 - 数据 - 专题 - 视频 - 博客 - 贴吧
当前位置: 首页 >> 财经 >> IT >> 正文
台积林本坚 获选美工程院士
www.cnfol.com 2008年02月13日 10:26 经济日报 陈碧珠
  台积电微製像技术发展处资深处长林本坚昨(12)日获选2008年美国国家工程学院院士,这是继台积电董事长张忠谋、前技术长胡正明之后,第三位取得此一资格的台积电员工。

  林本坚提出的193「浸润式微影技术」(Im-mersion Lithography),是半导体产业的创举,这项技术对半导体与台积电在65奈米以下先进製程,都有非常大的贡献。

  随IC元件愈缩愈小,微影技术必须更细微精确,才能在先进製程中成功的将电路显像在晶圆上。

  微影技术方式,之前从436奈米波长、365奈米波长的0.35到0.5奈米製程技术,进展到248奈米波长、193奈米波长的0.25到0.1奈米製程技术。

  林本坚在2002年发明浸润式微影,又将193奈米波长透过水的折射,延长到32奈米;林本坚是在193奈米机台加入水为媒介,可得出更短的波长,让台积电在2004年11月启用全世界第一台193奈米「浸润式微影技术」机台,从此跨入生产65奈米製程。

  这项技术的突破,使台积电一下子跳过三个技术世代,也让全世界半导体产业都将这个技术列为65奈米以下的主流。

  今年65岁的林本坚,2003年曾获得美国电机电子工程学会学士资格,这次更在2,200多个会员中,成为65名美国国家工程师院士之一。
A股港股全掌握:888行情系统免费使用收藏到 网摘 博采 百度】【推荐】【打印】【 】【关闭
把该页复制给你的好友   加入收藏   查看评论
注意:
· 遵守《全国人大常委会关于维护互联网安全的决定》,遵守中华人民共和国的各项有关法律法规。

· 尊重网上道德,承担一切因您的行为而直接或间接导致的民事或刑事法律责任。
       查看评论
  精品收费资讯          更多>>
  最新商讯
  健康指南
 
  热门推荐
  最新资讯
  企业服务
  分类信息
诚聘英才 | 联系我们 | 广告服务 | 合作伙伴 | 法律声明 | 征稿启事 | 网站地图
本站所有文章、数据仅供参考,使用前务请仔细阅读法律声明,风险自负
《中华人民共和国增值电信业务经营许可证》编号:闽 B2-20050010 号
《电子公告服务许可证》编号:闽通信互联网 [2008]1 号
证券资讯提供:福建天信投资咨询顾问有限公司 [证书:ZX0151]
Copyright © 2003-2008 福建中金在线网络股份有限公司. All Right Reserved.