11月7日，上交所科创板上市委会议公告，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(下称“恒运昌”)IPO将于11月14日上会。

招股书显示，恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统是半导体制程工艺中薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等工艺控制的关键，是激发并维持稳定、纯净等离子体的“心脏”，直接决定设备的工艺能力和产品良率。

目前，等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难环节之一，根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。

作为国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统批量交付的企业，恒运昌冲刺上交所科创板引发各界关注。

图片来源：上交所公告

市占率第一 行业地位领先

恒运昌主营等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源以及各种配件的研发、生产、销售和技术服务，是国内领先的半导体设备核心零部件供应商。

根据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。

得益于公司在等离子体射频电源系统领域的技术突破和国产化浪潮的推动。恒运昌已具备成熟的规模化量产能力，目前，与多家国内头部半导体设备商如拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等建立紧密合作关系，成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略供应商。

在业绩表现上，2022年至2024年，恒运昌的营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元，复合增长率高达84.91%；扣非归母净利润从0.20亿元增长至1.31亿元，复合增长率高达156.72%。最新披露的招股书显示，今年上半年，公司实现营收3.04亿元、净利0.69亿元。其业绩增长迅速，展现出强劲的成长潜力。

填补国内空白 引领行业发展

历经十年的技术攻关，恒运昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE的垄断格局。

其中，公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，标志着恒运昌在半导体领域的应用取得重大突破。可支撑7-14纳米先进制程的第三代产品Aspen系列，达到国际先进水平，填补国内空白。

实现从无到有，再到产品多元化突破，是恒运昌高度重视技术研发的成果。2022年至2025年上半年，公司累计投入研发费用1.57亿元，研发人员占比超40%，核心技术完全自主研发，已构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术体系，形成3大基石技术和8大产品化支撑技术。

截止2025年6月30日，恒运昌已累计获得108项发明专利，在申请发明专利133项。同时，公司深度承担了3项工信部、科技部的国家级重大科研课题，是国家级高新技术企业，为我国半导体设备的国产化和自主可控贡献着中坚力量。

招股书数据显示，2024年，恒运昌自研产品收入已达4.56亿元，占主营业务收入的84.34%，其中等离子体射频电源系统收入为4.26亿元，占比93.32%。在技术领先、产品多样化和客户粘性等方面均展现出领先的竞争优势。

借力资本 助力半导体设备全面自主可控

半导体设备是产业发展的基石，等离子体射频电源系统作为半导体设备零部件的心脏，目前，国产化率不到12%，是我国半导体产业实现自主可控的关键领域。

机构观点指出，面对目前的外部限制，将加速中国在晶圆制造、算力芯片、半导体设备、先进封装等领域的自主突破。

面对半导体产业链国产化的机遇，恒运昌将技术研发重心放在进一步拓展核心技术在半导体、光伏、显示面板、精密光学等领域的应用上。同时，公司将采取“内生研发+外部并购”的双轮驱动策略，深耕国内市场，并拓展国际市场。

SEMI预计，未来两年全球半导体设备市场规模还将继续扩大，2025年将增长至1,255亿美元、2026年有望增长至1,381亿美元，持续刷新历史新高。

随着“1+6”政策的深化改革，科技创新和产业创新融合发展不断推进，科创板“试验田”的作用不断凸显。本次恒运昌科创板IPO申请，借力资本平台募资投入沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目等，以扩大产能，进一步提升公司的技术创新能力和核心竞争力，引领半导体射频电源行业不断前行，助力关键零部件的全面自主可控。